リトグラフィーマシンの安定した動作を維持するために,リトグラフィーマシンの内部に冷却装置を設置する必要があります.リトグラフィーマシンの冷却システムは主に水冷却を含む水冷却が主流である. 水冷却は,冷却機,水素,ヘリウムなど,水冷却システム リトグラフィーマシン内の水は,水道を通して内部散熱器を通過します内部高温部位を通過する熱を吸収し,外部のラジエーターを通過する熱を散布します.低温環境をリトグラフィーマシン内に維持し,リトグラフィーマシンの安定した動作を保証する.